レンズ・フィルム・ウェハ 厚み計　V-Gauge

V-Gauge

光の干渉性を利用したOCT(Optical Coherence Tomography)により、光学基板やレンズ、フィルム、ウェハの厚みを非接触で測定。シリコンナイトライド（Si₃N₄）など、近赤外光を透過するセラミックス・高屈折率材料にも対応し、サブミクロン単位の高精度な計測を実現します。群レンズにも対応しています。

お客様の測定対象に応じた測定可否についてもご相談ください。